(?) (?)干(Gan)涉(She)膜(Mo)厚(Hou)仪(Yi)利(Li)用(Yong)光(Guang)学(Xue)干(Gan)涉(She)原(Yuan)理(Li)来(Lai)准(Zhun)确(Que)测(Ce)量(Liang)薄(Bao)膜(Mo)的(De)厚(Hou)度(Du)。(?) 这(Zhe)种(Zhong)仪(Yi)器(Qi)通(Tong)常(Chang)采(Cai)用(Yong)非(Fei)破(Po)坏(Huai)性(Xing)的(De)测(Ce)量(Liang)技(Ji)术(Shu),(?)能(Neng)够(Gou)在(Zai)不(Bu)损(Sun)伤(Shang)样(Yang)品(Pin)的(De)情(Qing)况(Kuang)下(Xia)进(Jin)行(Xing)测(Ce)量(Liang),(?)广(Guang)泛(Fan)应(Ying)用(Yong)于(Yu)电(Dian)子(Zi)、(?)光(Guang)学(Xue)和(He)包(Bao)装(Zhuang)等(Deng)多(Duo)个(Ge)领(Ling)域(Yu)。(?)
(?) (?)干(Gan)涉(She)膜(Mo)厚(Hou)仪(Yi)的(De)工(Gong)作(Zuo)原(Yuan)理(Li)基(Ji)于(Yu)光(Guang)学(Xue)干(Gan)涉(She)现(Xian)象(Xiang)。(?)当(Dang)一(Yi)束(Shu)光(Guang)照(Zhao)射(She)到(Dao)薄(Bao)膜(Mo)上(Shang)时(Shi),(?)部(Bu)分(Fen)光(Guang)在(Zai)表(Biao)面(Mian)反(Fan)射(She),(?)部(Bu)分(Fen)光(Guang)透(Tou)过(Guo)薄(Bao)膜(Mo)并(Bing)在(Zai)底(Di)面(Mian)反(Fan)射(She)回(Hui)来(Lai),(?)两(Liang)束(Shu)光(Guang)相(Xiang)遇(Yu)时(Shi)产(Chan)生(Sheng)干(Gan)涉(She)现(Xian)象(Xiang)。(?)通(Tong)过(Guo)分(Fen)析(Xi)干(Gan)涉(She)图(Tu)案(An),(?)可(Ke)以(Yi)计(Ji)算(Suan)出(Chu)薄(Bao)膜(Mo)的(De)厚(Hou)度(Du)。(?)这(Zhe)种(Zhong)测(Ce)量(Liang)方(Fang)法(Fa)具(Ju)有(You)高(Gao)精(Jing)度(Du),(?)通(Tong)常(Chang)可(Ke)以(Yi)达(Da)到(Dao)纳(Na)米(Mi)或(Huo)埃(Ai)的(De)量(Liang)级(Ji)。(?)
(?) (?)干(Gan)涉(She)膜(Mo)厚(Hou)仪(Yi)的(De)应(Ying)用(Yong)范(Fan)围(Wei)广(Guang)泛(Fan),(?)包(Bao)括(Kuo)但(Dan)不(Bu)限(Xian)于(Yu)测(Ce)量(Liang)光(Guang)学(Xue)镀(Du)膜(Mo)、(?)手(Shou)机(Ji)触(Chu)摸(Mo)屏(Ping)ITO镀(Du)膜(Mo)、(?)PET柔(Rou)性(Xing)涂(Tu)布(Bu)的(De)胶(Jiao)厚(Hou)、(?)LED镀(Du)膜(Mo)厚(Hou)度(Du)、(?)建(Jian)筑(Zhu)玻(Bo)璃(Li)镀(Du)膜(Mo)厚(Hou)度(Du)等(Deng)。(?)它(Ta)还(Huan)可(Ke)以(Yi)用(Yong)于(Yu)测(Ce)量(Liang)二(?)氧(Yang)化(Hua)硅(Gui)、(?)氮(Dan)化(Hua)硅(Gui)、(?)硅(Gui)、(?)光(Guang)刻(Ke)胶(Jiao)等(Deng)多(Duo)种(Zhong)材(Cai)料(Liao)的(De)薄(Bao)膜(Mo)厚(Hou)度(Du)。(?)
(?) (?)干(Gan)涉(She)膜(Mo)厚(Hou)仪(Yi)主(Zhu)要(Yao)由(You)以(Yi)下(Xia)几(Ji)个(Ge)部(Bu)分(Fen)组(Zu)成(Cheng):光(Guang)源(Yuan):提(Ti)供(Gong)单(Dan)色(Se)光(Guang),(?)光(Guang)源(Yuan)可(Ke)以(Yi)是(Shi)白(Bai)炽(Chi)灯(Deng)或(Huo)者(Zhe)激(Ji)光(Guang),(?)激(Ji)光(Guang)光(Guang)源(Yuan)因(Yin)其(Qi)单(Dan)色(Se)性(Xing)好(Hao)、(?)方(Fang)向(Xiang)性(Xing)强(Qiang)而(?)更(Geng)为(Wei)常(Chang)用(Yong)。(?)
(?) (?)分(Fen)光(Guang)器(Qi):将(Jiang)光(Guang)源(Yuan)发(Fa)出(Chu)的(De)光(Guang)分(Fen)为(Wei)两(Liang)条(Tiao)不(Bu)同(Tong)的(De)路(Lu)径(Jing),(?)一(Yi)条(Tiao)是(Shi)参(Can)考(Kao)光(Guang)路(Lu),(?)另(Ling)一(Yi)条(Tiao)是(Shi)待(Dai)测(Ce)光(Guang)路(Lu)。(?)反(Fan)射(She)器(Qi):将(Jiang)待(Dai)测(Ce)物(Wu)质(Zhi)的(De)反(Fan)射(She)光(Guang)聚(Ju)焦(Jiao)到(Dao)相(Xiang)应(Ying)的(De)检(Jian)测(Ce)器(Qi)上(Shang),(?)以(Yi)便(Bian)进(Jin)行(Xing)测(Ce)量(Liang)。(?)
(?) (?)检(Jian)测(Ce)系(Xi)统(Tong):包(Bao)括(Kuo)光(Guang)电(Dian)探(Tan)测(Ce)器(Qi)和(He)信(Xin)号(Hao)处(Chu)理(Li)电(Dian)路(Lu)用(Yong)于(Yu)接(Jie)收(Shou)反(Fan)射(She)光(Guang)信(Xin)号(Hao)并(Bing)将(Jiang)其(Qi)转(Zhuan)换(Huan)为(Wei)电(Dian)信(Xin)号(Hao)进(Jin)行(Xing)处(Chu)理(Li)和(He)显(Xian)示(Shi)。(?)
(?) (?)综(Zong)上(Shang)所(Suo)述(Shu),(?)干(Gan)涉(She)膜(Mo)厚(Hou)仪(Yi)作(Zuo)为(Wei)一(Yi)种(Zhong)高(Gao)精(Jing)度(Du)、(?)非(Fei)接(Jie)触(Chu)式(Shi)的(De)测(Ce)量(Liang)仪(Yi)器(Qi),(?)在(Zai)多(Duo)个(Ge)领(Ling)域(Yu)都(Du)发(Fa)挥(Hui)着(Zhuo)重(Zhong)要(Yao)作(Zuo)用(Yong)。(?)随(Sui)着(Zhuo)科(Ke)技(Ji)的(De)不(Bu)断(Duan)发(Fa)展(Zhan),(?)干(Gan)涉(She)膜(Mo)厚(Hou)仪(Yi)的(De)性(Xing)能(Neng)和(He)应(Ying)用(Yong)范(Fan)围(Wei)也(Ye)将(Jiang)不(Bu)断(Duan)拓(Tuo)展(Zhan)和(He)完(Wan)善(Shan)。(?)